Card | Table | RUSMARC | |
Дружков, Станислав Сергеевич. Математическое моделирование процесса магнетронного распыления = Mathematical modeling of magnetron dispersion process / С. С. Дружков. — (Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ). // Вестник Уфимского государственного авиационного технического университета. – 2013. – Т. 17, № 8. — С. 137-142 — <URL:http://journal.ugatu.su/index.php/Vestnik/article/view/1669/1545>.Record create date: 12/25/2018 Subject: Машиностроение; Обработка металлов резанием; магнетронное распыление; параметрические зависимости; математическое моделирование; вакуумные камеры; экспериментальные исследования Collections: Вестник УГАТУ Allowed Actions: View |
Annotation
Представлены результаты экспериментальных исследований по получению математической модели скорости процесса магнетронного распыления, на основе которых предлагается способ повышения интенсивности процесса за счет оптимизации давления газа в вакуумной камере по скорости распыления.
Usage statistics
|
Access count: 24
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |