Electronic Library of the Ufa University
«Ufa University of Science and Technology»

     

Details

Дружков, Станислав Сергеевич. Математическое моделирование процесса магнетронного распыления = Mathematical modeling of magnetron dispersion process / С. С. Дружков. — (Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ). // Вестник Уфимского государственного авиационного технического университета. – 2013. – Т. 17, № 8. — С. 137-142 — <URL:http://journal.ugatu.su/index.php/Vestnik/article/view/1669/1545>.

Record create date: 12/25/2018

Subject: Машиностроение; Обработка металлов резанием; магнетронное распыление; параметрические зависимости; математическое моделирование; вакуумные камеры; экспериментальные исследования

Collections: Вестник УГАТУ

Allowed Actions: View

Annotation

Представлены результаты экспериментальных исследований по получению математической модели скорости процесса магнетронного распыления, на основе которых предлагается способ повышения интенсивности процесса за счет оптимизации давления газа в вакуумной камере по скорости распыления.

Usage statistics

stat Access count: 24
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics